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降低多晶硅还原电耗的途径北京有色冶金设计研究总院朱骏业一、前言多晶硅是单晶硅的原料，最主要的半导体材料。多晶硅生产方法主要有改良西门子法、新硅烷及流化床法。改良西门子法是在西门子工艺的基础上发展而成的，是当今占绝对优势的生产方法，８０％的多晶硅是采用...
降低多晶硅还原电耗的途径
【摘 要】
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降低多晶硅还原电耗的途径北京有色冶金设计研究总院朱骏业一、前言多晶硅是单晶硅的原料，最主要的半导体材料。多晶硅生产方法主要有改良西门子法、新硅烷及流化床法。改良西
【机 构】
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北京有色冶金设计研究总院
【出 处】
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世界有色金属
【发表日期】
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1995年5期
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