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在微细电解加工中采用常规的对刀方法进行对刀时,亚微米尺度工具电极尖端会产生塑性变形、融化等问题。为了解决这些问题,提出了一种基于超短脉宽电源电流幅值剧增进行对刀的方法;介绍了该对刀方法的机理并进行了软件模拟验证;在此基础之上,提出了亚微米尺度工具电极的对刀方案并进行了试验验证,其结果表明对刀后的亚微米工具电极尖端形貌完好。