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通过结合溶胶-凝胶工艺和氧化铝模板制备了BaTiO3纳米点阵列。用XRD和原子力显微镜对其进行了成分和形貌分析。结果表明，通过改变基板温度，可以得到颗粒尺寸大小及分布在一定范围内变化的BaTiO3纳米点阵列，在基板温度为室温至80℃的条件下，制得的纳米点阵列颗粒尺寸为10-300nm，颗粒间距为70-900nm。与其他方法相比，此方法不需要昂贵的设备，且对基板没有特殊要求，还可以非常方便地用于其他多元氧化物纳米点阵列的制备。