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叙述了用新的加工工艺－离子刻蚀减薄技术制成的６０－１５０ＭＨｚ超高频基频卫星用晶体谐振器，论述了新的工艺过程及产品技术性能。
基频160MHz离子刻蚀晶体谐振器
【摘 要】
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叙述了用新的加工工艺－离子刻蚀减薄技术制成的６０－１５０ＭＨｚ超高频基频卫星用晶体谐振器，论述了新的工艺过程及产品技术性能。
【机 构】
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航天工业总公司二院２０３所
【出 处】
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宇航计测技术
【发表日期】
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1994年5期
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