论文部分内容阅读
为推进光传输器件的实用化,提升聚合物光波导传输特性,梳理了聚合物光波导的工艺流程。分析了影响光波导传输特性的平整度问题,通过基板覆铜及研磨抛光、基板附着力增强、光波导旋涂控制和光波导曝光控制等关键技术的突破,解决了基板平整度、胶层附着力和光波导光刻控制等问题,获得了表面和侧壁粗糙度均低的聚合物光波导。通过测试,结果能满足使用要求,具有良好的应用前景。