新型Resurf LDMOS器件的电参数设计

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本文简要地介绍了应用于LDMOS器件的一种最新技术——Resurf技术及其击穿机理,总结了该器件的击穿电压、导通电阻以及外延层电阻率的一些设计思想。 This article briefly introduces one of the latest techniques applied to LDMOS devices, the Resurf technique and its breakdown mechanism, and summarizes some design ideas of the device’s breakdown voltage, on-resistance and epitaxial layer resistivity.
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