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介绍了电子混合气体的配制方法,指出我国此类气体在制备过程中存在的诸多问题.并对国外电子混合气体配制精度、组分气体和平衡气体的杂质要求进行了极其详细的分析.
超纯电子混合气体及标准气体的配制技术
【摘 要】
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介绍了电子混合气体的配制方法,指出我国此类气体在制备过程中存在的诸多问题.并对国外电子混合气体配制精度、组分气体和平衡气体的杂质要求进行了极其详细的分析.
【机 构】
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中昊光明化工研究设计院有限公司
【出 处】
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低温与特气
【发表日期】
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2014年1期
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