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本文介绍10－^10Pa溅射离子泵的研制，论述提高极限真空度和抽气速率的方法。
10—^10Pa测射离子泵的研制
【摘 要】
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本文介绍10－^10Pa溅射离子泵的研制，论述提高极限真空度和抽气速率的方法。
【机 构】
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上海真空泵厂201709,上海市计量测试技术研究院200233
【出 处】
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四川真空
【发表日期】
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2001年1期
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