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可精密测定多层金属膜厚度的激光超声声呐光学方法可以精密测定透明薄膜的厚度，如多角度、多波长椭偏仪可测量厚度小于３ｎｍ的氧化层、厚度大于１０μｍ的光刻胶以及氧化物－多晶硅等多层结构．但对不透明的多层金属膜的测量一直受到很大的限制．最近，ＲｕｄｏｌｐｈＴ...
可精密测定多层金属膜厚度的激光超声声呐
【摘 要】
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可精密测定多层金属膜厚度的激光超声声呐光学方法可以精密测定透明薄膜的厚度，如多角度、多波长椭偏仪可测量厚度小于３ｎｍ的氧化层、厚度大于１０μｍ的光刻胶以及氧化物－多晶硅等多层结
【机 构】
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中国科学技术大学基础物理中心
【出 处】
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物理
【发表日期】
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1998年5期
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