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研究了双层辉光离子钨钼相渗在离子轰击条件下形成渗层和无离子轰击时形成沉积层的表观过程。结果表明，在形成沉积层时，由于离子轰击作用已在不存在，使渗层厚度减少２６％，用朗缪尔探针对双层辉光离子钨钼共渗过程进行了等离子体的诊断，等离子体对表现成分有较大影响。合理的等离子体密度范围为５＊１０＾－１１－３＊１０＾１２。