【摘 要】
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提出了一种基于傅立叶解调法的空分复用系统,实现了光纤微机电系统（M icroE lectroM echan ical System,MEMS）法-珀（FP）压力传感器的准分布式测量.传感器基于FP腔干涉的原理,采用
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提出了一种基于傅立叶解调法的空分复用系统,实现了光纤微机电系统（M icroE lectroM echan ical System,MEMS）法-珀（FP）压力传感器的准分布式测量.传感器基于FP腔干涉的原理,采用MEMS技术加工制作,用傅立叶方法解调干涉信号,用光开关实现传感器复用.理论分析与实验验证了传感器解调和复用的基本原理.结果表明,该系统具有好的线性、灵敏度、精度和重复性,响应速度快,复用的传感器间无明显串扰,系统复用能力取决于光开关的通道数.
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