沉积温度对氧化锌薄膜结构和光学性能的影响

来源 :中南民族大学学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户：lvy_yvl2009

【摘要】

：

采用射频磁控溅射方法在玻璃基板上制备了氧化锌(ZnO)薄膜样品,利用X射线衍射(XRD)表征和紫外-可见光透射光谱对其进行了表征,研究了沉积温度对ZnO薄膜结构和光学性能的影响.

【作者】

：

陈首部兰椿

【机构】

：

中南民族大学电子信息工程学院

【出处】

：

中南民族大学学报(自然科学版)

【发表日期】

：

2016年2期

【关键词】

：

氧化锌薄膜溅射光学性能 zinc oxide thin film sputtering optical properties

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采用射频磁控溅射方法在玻璃基板上制备了氧化锌(ZnO)薄膜样品,利用X射线衍射(XRD)表征和紫外-可见光透射光谱对其进行了表征,研究了沉积温度对ZnO薄膜结构和光学性能的影响.结果表明:所有ZnO样品都是c轴高度择优取向的多晶薄膜;沉积温度对ZnO样品晶体质量和光学性能都具有明显的影响;随着沉积温度的升高,ZnO薄膜(002)衍射峰的半高宽单调减小,而(002)晶面取向度、平均晶粒尺寸和可见光波段平均透过率则单调增大.当沉积温度为500°C时,ZnO薄膜样品具有最高的(002)晶面取向度(0.

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