【摘 要】
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通过在溶胶前驱液中添加聚乙烯吡咯烷酮和在底电极Pt上形成界面仔晶层,对溶胶-凝胶（Sol-Gel）法进行了改进,并以此在Pt/Ti/SiO2/Si上制备了钇（Y）掺杂和非掺杂的Ba0.6Sr0.4TiO3（BST）
【基金项目】
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电子科技大学中青年学术带头人培养计划(Y02018023601053);博士点基金(20060614021);四川省应用基础研究(2008JY0057)
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通过在溶胶前驱液中添加聚乙烯吡咯烷酮和在底电极Pt上形成界面仔晶层,对溶胶-凝胶（Sol-Gel）法进行了改进,并以此在Pt/Ti/SiO2/Si上制备了钇（Y）掺杂和非掺杂的Ba0.6Sr0.4TiO3（BST）薄膜,研究了薄膜的表面结构和介电调谐性能.X射线光电子能谱表明,BST薄膜表面元素都以两种或三种化学态出现,一种对应钙钛矿结构,其余的对应非钙钛矿结构.和非掺杂相比,除了Ti2p外,Y掺杂对Ba3d、Sr3d和O1s具有明显的影响,Ba、Sr和O原子在非钙钛矿结构中的含量分别由41%、33%和5
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