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期刊论文
不同条件下离子轰击的效果及其对铝反射膜的影响
不同条件下离子轰击的效果及其对铝反射膜的影响
来源 :真空 | 被引量 : 0次 | 上传用户:jason19829413
【摘 要】
:
利用北京仪器厂制造的DM-450A真空镀膜机进行各种条件下的离子轰击实验,讨论不同轰击条件下的轰击效果以及对铝反射膜牢固度的影响。
【作 者】
:
饶永梅
【机 构】
:
中国科学院上海天文台
【出 处】
:
真空
【发表日期】
:
1984年05期
【关键词】
:
离子轰击
反射膜
牢固度
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利用北京仪器厂制造的DM-450A真空镀膜机进行各种条件下的离子轰击实验,讨论不同轰击条件下的轰击效果以及对铝反射膜牢固度的影响。
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