真空蒸发制备ZnTe薄膜性能

来源 :太阳能学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：marine_ogz

【摘要】

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利用真空蒸发技术在玻璃衬底上获得ZnTe薄膜.在室温下利用Zn和Te单质制备ZnTe薄膜成膜困难且性能起伏不定,通过对不同工艺条件的比较选择,发现在衬底温度大于90℃时制备的样

【作者】

：

李蓉萍荣利霞

【机构】

：

内蒙古大学理工学院

【出处】

：

太阳能学报

【发表日期】

：

2002年3期

【关键词】

：

ZnTe薄膜真空蒸发制备 ZnTe filmsvacuum evaporation technique

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利用真空蒸发技术在玻璃衬底上获得ZnTe薄膜.在室温下利用Zn和Te单质制备ZnTe薄膜成膜困难且性能起伏不定,通过对不同工艺条件的比较选择,发现在衬底温度大于90℃时制备的样品是一种性能稳定具有良好光学特性的薄膜.提高衬底温度后,ZnTe薄膜具有沿[002]晶向择优取向,并由灰黑色不透明变成砖红色透明,透过率在可见光范围内明显升高.

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