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精确测量细胞牵引力的大小及分布对细胞生物学、组织工程等研究具有重要意义。近年来,基于生物微机电系统技术制作的高深宽比聚;甲基硅氧烷(PDMS)微悬臂梁阵列作为细胞牵引力测量传感器受到广泛关注。不同于传统基于连续基质的测量方法,细胞在致密、垂直、离散的微悬臂梁阵列顶端贴附并延展、迁移,引起微悬臂梁形变。通过对扫描电子显微镜图像处理,细胞牵引力测量精度可以达到数十nN/m。我们综述了基于微悬臂梁阵列细胞牵引力传感器测量方法,重点论述了实验原理、制作工艺和细胞实验,并讨论了微悬臂梁阵列结构倒塌机理。