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工艺诱导电荷所产生的缺陷正在成为造成下一代器件良率损失的问题，促使晶圆加工过程中需要更加严格的工艺控制。
控制工艺诱导电荷提高生产力
【摘 要】
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工艺诱导电荷所产生的缺陷正在成为造成下一代器件良率损失的问题，促使晶圆加工过程中需要更加严格的工艺控制。
【出 处】
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集成电路应用
【发表日期】
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2009年5期
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