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碲化物薄膜的附着牢固度与其显微结构的关系
碲化物薄膜的附着牢固度与其显微结构的关系
来源 :红外与毫米波学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:mir_lww0
【摘 要】
:
用X射线衍射(XRD)和透射电镜术(TEM)观察Si和Ge基板上PbTe,CdTe及PeGeTc单层薄膜及其与ZnS组合的多层薄膜的显微结构,给出了薄膜附着牢固度与薄膜显微结构的关系。
【作 者】
:
张素英
程实平
【机 构】
:
中国科学院上海技术物理研究所,上海尼赛拉公司
【出 处】
:
红外与毫米波学报
【发表日期】
:
1999年4期
【关键词】
:
碲化物
薄膜
显微结构
附着牢固度
telluride
film
microstructure
adhesion.
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用X射线衍射(XRD)和透射电镜术(TEM)观察Si和Ge基板上PbTe,CdTe及PeGeTc单层薄膜及其与ZnS组合的多层薄膜的显微结构,给出了薄膜附着牢固度与薄膜显微结构的关系。
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