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采用XRD,AFM,XPS和光学透射谱对化学水浴法制备的CdS多晶薄膜进行了测试分析.刚沉积的CdS多晶薄膜均匀、透明、致密,主要呈现立方结构;Cd和S的原子百分比约为1.10;能隙(Eg)约为2.47eV.在不同温度下后处理会出现六方结构和3CdSO4·8H2O衍射峰,同时晶面择优取向发生了变化.通过沉积高质量的CdS薄膜,获得了效率约13.4%的CdS/CdTe小面积太阳电池.