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HL—1M的原位处理技术
HL—1M的原位处理技术
来源 :四川真空 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xtmpjordan
【摘 要】
:
介绍HL-1M托卡马克装置的壁处理技术,使用氦辉光放电清洗清除装置杂质和降低壁中氢含量,壁硼化和硅化技术以及原位沉积膜的原位清除。
【作 者】
:
王志文
王恩耀
【机 构】
:
核工业西南物理研究院
【出 处】
:
四川真空
【发表日期】
:
1999年3期
【关键词】
:
氦辉光放电清洗
硼化
硅化
托卡马克
原位处理
HeGDC
boronization
siliconization
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介绍HL-1M托卡马克装置的壁处理技术,使用氦辉光放电清洗清除装置杂质和降低壁中氢含量,壁硼化和硅化技术以及原位沉积膜的原位清除。
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