论文部分内容阅读
利用AC双磁控管阴极在大尺寸基体上进行反应性溅射电介质层
【出 处】
：
等离子体应用技术快报
【发表日期】
：
1999年3期
其他文献
【正】 陆地只占地球表面的29％,但人类却对之过于苛求和索取。过度的开发、污染环境和对化学合成药物的过度信赖,终于逼使人类在对不少病魔无能为力时,将目光转向那占地球表面
【正】 资源与环境信息系统是在计算机硬软设备和遥感技术、系统工程的支持下,按地理坐标或特定地理范围。采集有关资源与环境的各种信息,通过数量化、数据录入、信息存储处