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随着科学技术的飞速发展,多晶硅的应用越来越多,为了提高多晶硅的生产质量。基于Gibbs+自由能最小原理,采用西门子法生产多晶硅的闭环工艺,并对反应系统中的进行的热力学进行分析,针对不同环境下化学反应系统进行探讨。文章将主要针对多晶硅生产工艺中的热力学进行分析,从而不断的提高多晶硅生产效率。
热力学在多晶硅生产工艺中的应用
【摘 要】
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随着科学技术的飞速发展,多晶硅的应用越来越多,为了提高多晶硅的生产质量。基于Gibbs+自由能最小原理,采用西门子法生产多晶硅的闭环工艺,并对反应系统中的进行的热力学进行
【机 构】
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昆明冶研新材料股份有限公司
【出 处】
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化工管理
【发表日期】
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2015年32期
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