【摘 要】
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采用辉光放电等离子体聚合技术,在不同制备参数条件下,制备了辉光放电聚合物（GDP）薄膜。利用傅里叶变换红外吸收光谱对GDP薄膜的化学结构组成进行了分析,采用纳米压痕技术对GDP
【机 构】
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中国工程物理研究院激光聚变研究中心
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采用辉光放电等离子体聚合技术,在不同制备参数条件下,制备了辉光放电聚合物（GDP）薄膜。利用傅里叶变换红外吸收光谱对GDP薄膜的化学结构组成进行了分析,采用纳米压痕技术对GDP薄膜的硬度及杨氏模量进行了表征,探讨了GDP薄膜的化学结构组成、硬度及杨氏模量随制备参数的变化规律。研究表明：随着工作气压和反式二丁烯与氢气（T2B/H2）流量比逐渐降低,GDP薄膜中SP3（CH3）基团随之降低,SP2（CH2）基团含量和SP3（CH1,2）随之增加;GDP薄膜的硬度与杨氏模量随着工作气压、T2B/H2流量比的降低
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