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回顾和概括了MEMS机电器件进入μm／nm尺度后解决的几个关键性问题。结合微机电器件发展的典型事例进行分析，对我国科学工作者在其中的贡献给予肯定。分析目前机电器件走向nm尺度的一些相关概念理解和需要着重研究的纳米效应问题。对机电器件从微到纳的发展趋势进行了展望。
从MEMS到NEMS进程中的技术思考
【摘 要】
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回顾和概括了MEMS机电器件进入μm／nm尺度后解决的几个关键性问题。结合微机电器件发展的典型事例进行分析，对我国科学工作者在其中的贡献给予肯定。分析目前机电器件走向nm尺
【机 构】
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中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室
【出 处】
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微纳电子技术
【发表日期】
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2008年1期
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