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日本早稻田发布了能够利用硅孔（TSV）布线以低成本制造三维积层LSI的工艺.
低成本三维硅贯通布线工艺问世
【摘 要】
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日本早稻田发布了能够利用硅孔（TSV）布线以低成本制造三维积层LSI的工艺.
【出 处】
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光机电信息
【发表日期】
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2008年7期
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