立体端面光刻工艺研究

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立体端面的特种器件,要求在其单侧或者双侧表面光刻出有位置要求的图形.针对这一特种器件的要求,研制了一种可适应立体端面基体的对准工作台及楔形误差补偿机构,并根据立体端面的物理特性,在旋转涂胶法的基础上,研制了适应其涂胶工艺的装夹机构,通过工艺实验,验证了该光刻工艺的可行性.
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