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期刊论文
立体端面光刻工艺研究
立体端面光刻工艺研究
来源 :电子工业专用设备 | 被引量 : 0次 | 上传用户:chungpy
【摘 要】
:
立体端面的特种器件,要求在其单侧或者双侧表面光刻出有位置要求的图形.针对这一特种器件的要求,研制了一种可适应立体端面基体的对准工作台及楔形误差补偿机构,并根据立体端
【作 者】
:
芦刚
周占福
【机 构】
:
中国电子科技集团公司第四十五研究所
【出 处】
:
电子工业专用设备
【发表日期】
:
2015年7期
【关键词】
:
立体端面
楔形误差补偿
涂胶
光刻工艺
曝光分辨率
Solid surface
Wedge error compensation
Coating techn
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立体端面的特种器件,要求在其单侧或者双侧表面光刻出有位置要求的图形.针对这一特种器件的要求,研制了一种可适应立体端面基体的对准工作台及楔形误差补偿机构,并根据立体端面的物理特性,在旋转涂胶法的基础上,研制了适应其涂胶工艺的装夹机构,通过工艺实验,验证了该光刻工艺的可行性.
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