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采用脉冲激光沉积(PLD)方法在400 ̄670℃和7 ̄70Pa氧压下制备了(Sr,Ca)CuO2无限层薄膜。通过薄膜的X光衍射(XRD)测量来进行薄膜的相分析。A2CuO3+δ(A代表Sr,Ca)相在SrTiO3,LaAlO3,CaNdAlO4和MgO衬底上在400 ̄600℃极易生成,而无限层ACuO2+δ相只能在高于470℃和相配的SrTiO3和LaAlO3衬底上生成。在SrTiO3衬底上当温度