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随着科学技术的发展,我国的微电子技术得到了快速发展,使电子元件的集成程度越来越高,给微电子器件的清洗工作带来了很大的挑战,其清洗质量对电子设备的质量也会造成严重的影响。对此,本文对微电子工艺清洗方法的现状进行了分析,并提出了有效的清洗对策。
微电子工艺清洗技术的应用分析
【摘 要】
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随着科学技术的发展,我国的微电子技术得到了快速发展,使电子元件的集成程度越来越高,给微电子器件的清洗工作带来了很大的挑战,其清洗质量对电子设备的质量也会造成严重的影
【机 构】
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湖南省长沙市第一中学
【出 处】
：
通讯世界
【发表日期】
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2017年23期
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