【摘 要】
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砂轮振动将会使得光学元件表面产生周期性波动，从而降低后续抛光工序的加工效率，增加光学元件表面的中频误差成分，影响光学元件的使用性能。本文针对平行磨削方式，研究了砂轮周期
【机 构】
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厦门大学物理与机电工程学院微纳米加工与检测联合实验室
【基金项目】
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福建省自然科学基金计划项目(2012J05098)资助
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砂轮振动将会使得光学元件表面产生周期性波动，从而降低后续抛光工序的加工效率，增加光学元件表面的中频误差成分，影响光学元件的使用性能。本文针对平行磨削方式，研究了砂轮周期性强迫振动下的工件表面形貌特征，分析了砂轮与3-件表面的干涉现象，以及加工参数对加工表面波纹度特征的影响。研究结果表明：加工参数满足一定的条件下，工件表面振纹小于砂轮本身振动振幅，通过合理选择加工参数有利于改善工件表面波纹度，提高加工表面质量。
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