立方相Al_xGa_(1-x)N/GaAs(100)的光致发光研究

来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:gaibian000000
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
本文通过光致发光( P L)测试发现了 N H3 流量的大小对以 Ga As(100)为衬底生长立方相 Alx Ga1- x N 晶体性质的影响的规律, N H3 流量愈少,立方相 Al Ga N 的纯度愈高,而且,其发光峰的位置向短波长方向移动.在同一样品中, N H3 气流的下游的晶体纯度高于上游,而且其发光峰的位置向短波长方向移动.选择合适的生长条件,制备出纯度较高的立方相 Alx Ga1- x N 晶体,并对实验结果进行了简单的讨论
其他文献