传感式气体测量仪

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美国近来研制出一种新的化学一传感场效应晶体管测量仪,用以测定有害气体.该测量仪有一个浸蚀在硅片中的电导通路,它有一个加有电场的栅,在铂栅与电导通路之间有一绝缘层和空气隙.当被测定的有害气体从空气隙通过时,改变了电场及电流.这种气体测量仪可测量一氧化碳和含氰化物的一些有害气体.但由于这种仪器是使所有的气体通
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