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用光致抗蚀剂为记录介质制作１２００条／ｍｍ反射全息光栅并测试它的性能。其衍射效率最高可达６０％，分辨本领可达到同类型刻划光栅的水平。
全息反射光栅的制作及其性能测试与分析
【摘 要】
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用光致抗蚀剂为记录介质制作１２００条／ｍｍ反射全息光栅并测试它的性能。其衍射效率最高可达６０％，分辨本领可达到同类型刻划光栅的水平。
【机 构】
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天津师范大学物理系
【出 处】
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天津师大学报(自然科学版)
【发表日期】
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1998年3期
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