采用造粒原料燃烧合成Si3N4粉体

来源 :人工晶体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:liuligen
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通过将Si/Si3N4原料造粒,采用燃烧合成工艺在较低氮气压力下(2.0 MPa)合成了Si3N4粉体。研究了原料造粒对原料孔隙率及燃烧合成反应过程的影响。实验结果表明:原料造粒后燃烧合成通过两步反应完成,通过调整DS/DL(造粒原料最小粒径与最大粒径的比值)可以控制原料坯体的孔隙率和燃烧合成温度及速度,进而提高装料量及氮化率。
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