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阐述了高频窄脉冲电化学光整加工原理；比较了其与脉冲电化学加工的区别与联系；通过实验，研究及分析了电流密度、加工间隙、工件材料、加工时间及脉冲参数等因素对加工后表面质量的影响。实验结果表明：在合适的工艺参数情况下，高频窄脉冲电化学光整工艺可大幅度提高加工效率，获得镜面级的表面质量，并能降低加工成本。