【摘 要】
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为了研究场发射冷阴极电流跌落机制,采用四极质谱仪实时分析的方法研究了碳纳米管阴极场发射器件的放气特性及工作状态下器件内残余气体对阴极场发射性能的影响.结果表明：碳纳
【机 构】
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南京工程学院数理部,南京师范大学物理科学与技术学院,东南大学电子科学与工程学院
【基金项目】
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国家自然科学基金(11504167、61674029);江苏省自然科学基金(BK20141390);南京工程学院自然科学基金(QKJB201409、CKJC201602)
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为了研究场发射冷阴极电流跌落机制,采用四极质谱仪实时分析的方法研究了碳纳米管阴极场发射器件的放气特性及工作状态下器件内残余气体对阴极场发射性能的影响.结果表明：碳纳米管阴极场发射器件工作时,放出气体的主要成份是H_2,CO_2,CO;随着阴极发射电流密度的增加,气体成份的分压也随着增加.碳纳米管阴极的场发射性能,例如开启场强、阈值场强和场发射电流密度都与放出气体压强密切相关.碳纳米管阴极在压强为2.1×10（-3）Pa的残余气体环境下工作1.5 h后,开启场强和阈值场强相应增加了29.4%和50
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