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使用传统的电感耦合等离子体质谱法（ICP-MS）测定磷酸中杂质元素存在严重的多原子离子干扰,本文利用碰撞反应界面技术（CRI）有效地消除或降低了多原子离子干扰。实验表明,直接稀释磷酸样品后,采用^89 Y-^115In-^209 Bi三内标元素可补偿仪器的信号漂移和基体效应;采用无CRI模式可直接测定Mg、Al、Sr、Cd和Pb;采用He作为碰撞反应气可消除V、Cr、Mn、Co、Ni、Cu、Zn和As的质谱干扰,并确定最佳He流量为90mL/min;采用H2作为碰撞反应气可消除Fe和Se的质谱干扰,并确定