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采用正硅酸乙酯（TEOS）为改性剂先驱体，通过溶胶-凝胶法处理木材，以改善木材性能。为了探究有机硅溶胶-凝胶法改性处理木材的作用机理，应用电镜-能谱方法，分析改性木材中的碳、氧、硅三种元素的相对含量及分布状态。结果表明：随着增重率的增加，硅元素的相对质量分数不断升高，而碳元素相对质量分数降低，氧元素先降低后升高；验证了在木材内部SiO2的生成，而且硅元素主要分布在木材细胞壁表面。