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论述了声表面波压力传感器的工作原理及设计方法，报导了研究结果，传感器在0-100kPa范围内具有良好的线性，其中一阶压力灵敏度为0.55×10^-9/(Pa.cm^-2)。
声表面波压力传感器
【摘 要】
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论述了声表面波压力传感器的工作原理及设计方法，报导了研究结果，传感器在0-100kPa范围内具有良好的线性，其中一阶压力灵敏度为0.55×10^-9/(Pa.cm^-2)。
【机 构】
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杭州电子工业学院,杭州电子工业学院
【出 处】
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传感器技术
【发表日期】
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1992年6期
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