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对测量细丝直径在10～40μm的电荷耦合器件激光衍射测径系统提出了两种新的标定方法,并对不同标定方法下的系统进行了测试对比。结果表明,选择恰当的标定方法可以使系统测量精度达到0.15μm。
CCD激光衍射测径系统的标定方法
【摘 要】
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对测量细丝直径在10～40μm的电荷耦合器件激光衍射测径系统提出了两种新的标定方法,并对不同标定方法下的系统进行了测试对比。结果表明,选择恰当的标定方法可以使系统测量精
【机 构】
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吉林大学物理学院,吉林大学化学学院,吉林大学物理学院长春
【出 处】
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吉林大学学报(工学版)
【发表日期】
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2008年S1期
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