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对用于航空发动机磨损在线监测的能谱数据处理方法进行了研究。介绍了基于同位素Ｘ射线荧光法的滑油磨损在线监测系统的组成及工作原理，通过对所获得能谱数据进行平滑、剥谱、寻峰、峰净面积计算、浓度插值计算等处理，就可以实现杂质浓度的自动检测。文中担子一种函数拟合寻峰方法，实现结果表明，这种方法具有算法简单、运算速度快等优点，特别适合于在线监测的能谱数据处理。