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本文采用形状记忆合金（SMA）驱动的负压吸附机构能够克服MEMS吸附机构不易微小化的缺点,该吸附机构的负压模型具有一定的吸附能力,产生负压较快,能够作为MEMS的吸附机构。
SMA驱动吸附机构的负压模型浅析
【摘 要】
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本文采用形状记忆合金（SMA）驱动的负压吸附机构能够克服MEMS吸附机构不易微小化的缺点,该吸附机构的负压模型具有一定的吸附能力,产生负压较快,能够作为MEMS的吸附机构。
【机 构】
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南昌工程学院机械与电气工程学院
【出 处】
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科技广场
【发表日期】
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2017年5期
【基金项目】
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南昌工程学院青年基金科技项目（编号：2014KJ014）
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