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器件表面温度是表征器件热性能的重要参数，应用红外热像法探测表面温度时，影响其测量结果准确性的关键因素是表面发射率的修正，通过对红外热像法发射率直接修正误差的统计分析，给出了不同条件下的发射率修正值标准差δ、误差ε的范围，提出了应用于电子器件的最小误差探测条件。
应用于电子器件红外探测的发射率修正误差分析
【摘 要】
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器件表面温度是表征器件热性能的重要参数，应用红外热像法探测表面温度时，影响其测量结果准确性的关键因素是表面发射率的修正，通过对红外热像法发射率直接修正误差的统计分析，给
【机 构】
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信息产业部电子第五研究所
【出 处】
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电子工艺技术
【发表日期】
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2001年4期
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