退火温度对铟锡合金薄膜结构和性能的影响

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采用铟锡合金作为溅射源,通过直流反应磁控溅射和在大气环境下高温退火,制备出了性能优良的ITO薄膜,其太阳光谱透射率大于90%。在放电参数、工作气体压力、反应气体流量、沉积时间等工艺参数相同的条件下,研究了退火温度对薄膜表面形貌、化学成分、晶体结构、光学和电学性能的影响。
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