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国外大宗硅烷供气系统设计规范
国外大宗硅烷供气系统设计规范
来源 :低温与特气 | 被引量 : 0次 | 上传用户:lau_lfm
【摘 要】
:
介绍了硅烷的性质,国外压缩气体协会等行业规范要求,以及其供气系统的工艺和本质安全设计的要点。同时对硅烷的日常使用和应急反应提出了建议,确保系统的安全可靠运行。
【作 者】
:
李东升
【机 构】
:
上海正帆科技有限公司
【出 处】
:
低温与特气
【发表日期】
:
2010年2期
【关键词】
:
硅烷
供气系统
工艺设计
本质安全
silane supply system process design intrinsic safety
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介绍了硅烷的性质,国外压缩气体协会等行业规范要求,以及其供气系统的工艺和本质安全设计的要点。同时对硅烷的日常使用和应急反应提出了建议,确保系统的安全可靠运行。
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