【摘 要】
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基于动态阿贝原则提出了激光深孔孔径测量原理,设计了一种利用双频激光干涉技术的深孔孔径超精密测量系统.该系统将双频激光干涉测长技术与超精密双向电容位移传感器瞄准方法
【机 构】
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哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所
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基于动态阿贝原则提出了激光深孔孔径测量原理,设计了一种利用双频激光干涉技术的深孔孔径超精密测量系统.该系统将双频激光干涉测长技术与超精密双向电容位移传感器瞄准方法有机结合在一起,通过电容位移传感瞄准、测长光路和深度位置监测光路的合理设计,保证了在深孔任意截面对孔径的测量都符合阿贝原则.分别用Φ5～Φ16 mm 6种环规对系统进行验证.实验表明,该系统可实现深孔任意截面孔径的高精度测量,测量分辨力达10 nm,不确定度达0.1 μm.
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