洁净空间阻漏层气流分布方式的特性和应用

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提出采用阻漏层进行洁净室气流分布的概念及理论方法,顺利实现了高效过滤器过滤、密封、气流分布作用的解耦。应用实例表明,该气流分布方式能增大单向流洁净空间的活塞流满布比,强化乱流洁净空间气流分布的主流区特性。 The concept and theoretical method of using the barrier layer to clean the air flow in the clean room are proposed, and the decoupling of the filtration, sealing and airflow distribution of the high efficiency filter is successfully realized. The application examples show that the air flow distribution can increase the ratio of the plug flow to the clean flow space in the unidirectional flow and enhance the main flow characteristics of the airflow distribution in the clean flow space.
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