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在多晶硅的生产过程中,盐类废水处理是一重要的环节。在盐类废水处理时常用薄膜蒸发器,三效蒸发器和四效蒸发器等设备用于盐类的蒸发浓缩,利用蒸发浓缩的原理,将废水中的水分蒸发掉,盐类中Na Cl颗粒结晶析出,在经过过滤操作使废水和Na Cl分离。蒸发出来的水蒸气外排掉或者经过冷凝回流到生产装置中实现循环利用。本文主要介绍了这三种蒸发器的工作原理,工艺流程极其能耗。