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本研究以低分子聚碳硅烷（ＬＰＳ）为原料，利用其原料的特点，采用气相热裂解方法制备出ＳｉＣ超细微粉，并从热力学和动力学的角度探讨了ＬＰＳ分解机理，对合成地产物的性质以及形貌、组成等的影响进行了系统的讨论，并在实验中确定了较佳的工艺条件，所合成的无定形ＳｉＣ超微粉；粒径〈０．１μｍ，球形，含碳３４－３５％，含３－４％左在。