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采用稀土掺杂和低温烧结的方法制备出高电位梯度的ZnO压敏电阻，并研究了Y2O3掺杂浓度对试样电位梯度和稳压性能的影响。结果表明，在800℃的烧结条件下，掺杂0．08％（摩尔分数）Y2O3后试样的电位梯度增加了49％，稳压系数达到1．99×10^-2。从微观角度对ZnO压敏电阻烧结过程中的物化反应分析发现，较低的烧结温度能够抑制Y2O3的受主固溶和Bi2O3的挥发，减缓晶粒的生长速度，改善晶界质量，从而提高试样的电位梯度，实现高压稳压。