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采用脉冲激光沉积法制备了多铁性铁酸铋（Bi Fe O3）薄膜材料,通过原子力显微镜（AFM）对其表面形貌和压电响应性质进行了表征。同时,利用基于原子力显微镜的定量纳米力学成像技术（QNM）对铁酸铋薄膜材料纳米尺度的力学性质进行研究,突破了传统力学性质测量设备低空间分辨率的限制,获得了Bi Fe O3薄膜材料中菱形相和四方相的杨氏模量。